联系我们/CONTACT US
联系人：何小姐
电 话：0574-27976112,0574-27975197
手 机：18157427375,13806673976,18157427371
地 址：宁波市江北区慈城镇张嘉路91弄9号三楼
邮 编：
传 真：0574-87460769
邮 箱：18157427375@163.com
阿仪网商铺：http://www.app17.com/c101739/
手机网站：m.zjrooko.com
技术文章/ARTICLE
双电测四探针测试仪操作手册
点击次数：5028 发布时间：2015/1/16 16:36:10
FT-341用户手册
目 录
（一）目录………………………………………………………… 1
（二）前言/产品简介……………………………………………2-3
（三）主要控制功能概述……………………………………… 4-8
（四）工作原理及计算公式……………………………………9-11
（五）操作流程及测试步骤…………………………………12-16
（六）维护及保养………………………………………………16-17
（七）仪器安装要点……………………………………………17-19
（八）配置清单…………………………………………………… 20
（九）产品保修卡………………………………………………… 21
（十）产品质量保证卡……………………………………………22
一、前 言
概述：
FT-341双电测四探针测试仪
本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，压强 配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。
标准要求：
该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
二、产品简介
技术参数及功能介绍
| 规格型号 | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
| 1.方块电阻范围 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×103Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×103Ω/□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×103Ω/□ |
| 2.电阻率范围 | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×104-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×104-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
| 3.测试电流范围 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA,μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
| 4.电流精度 | ±0.1%读数 | ±0.2%读数 | ±0.2%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 |
| 5.电阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
| 6.显示读数 | 大屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 | |||||
| 7.测试方式 | 双电测量 | |||||
| 8.工作电源 | 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W | |||||
| 9.整机不确定性误差 | ≤3%（标准样片结果） | |||||
| 10.选购功能 | 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台 | |||||
三、主要控制功能概述
1.整机构造图
1.1主机正面
设置键 系统键
USB接口 液晶显示器 显示键 数字键 触发键
确定
退格
电源开关 接地 测试接线端口
功能选择键 方向键 确定键
图1
1.2.主机背面
通讯接口 温度接口
电源接口
图2
2.显示界面图
2.1.开机页面
| 宁 波 瑞 柯 仪 器 有 限 公 司 Ningbo Rooko instrument co., Ltd FT-340系列电阻率测试仪 FT-340 serial resistivity tester 按显示键继续 TEL:0574-27868496 FAX:87460769 |
图3
2.2.测试界面
| 瑞柯仪器 方 阻 接口：USB 测试功能：Rpk 电流：自动 电压：低 清零：关 温补：关 长度单位：mm 探针间距：mm 探针形状：直形 温度系数：0.000 厚度：mm 电压：0.0v 温度：0.00℃
|
| 方 阻
|
| 材料
|
| 放大
|
| 电阻：…………… 电阻率：………… 电导率：………….
|
图2
图4
| 瑞柯仪器 材 料 接口：USB 测试功能：Rpk 电流：自动 清零：关 温补：关 长度单位：mm 试样状态：长方形 截面积 长： 宽： 高： 温度系数：0.000
电压：0.0v 压强： 温度：0.00℃
|
| 方 阻
|
| 材料
|
| 放大
|
| 电阻：…………… 电阻率：………… 电导率：………….
|
图2
图5
3、仪器与治具连接示意图
3.1.以下系列型号：FT-341 ； FT-342 ； FT-343 ； FT-346物图如下：
特别提示：本图片包含本机所有配置，如购买中未选购其中部分，则图片有所差异.
图6
3.2.以下系列型号：FT-345 ；FT-347物图如下：
特别提示：本图片包含本机所有配置，如购买中未选购其中部分，则图片有所差异.
图7
四、工作原理和计算公式
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
四探针测试结构图8
当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：
从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加精准。
2.仪器工作原理图
| 输入
电源 |
| 被 测 物 |
| 液晶
显示 |
| 电脑 软件 打印 |
| 芯片
模块 |
| 恒 流 源 |
图9
五、操作流程和测试步骤
1.使用前期准备－－测试前准备工作：
1.1.开机预热：将220V电源插头插入电源插座，打开电源开关，让仪器预热15分钟，保证测试数据稳定。若测试仪无法正常启动，请按以下步骤检查：
①检查电源线是否接触良好；
②检查后面板上的电源开关是否已经打开
③检查保险丝是否熔断，如有必要，请更换保险丝
④ 如经上述检查无误后，测试仪仍未正常启动，请联系本公司进行解决。
1.2.准备好被测物，链接好测试探头，把测试探头接口与主机接口相连接，并锁定，防止松动或接触不良而对测试结果造成影响.
1.3.接通电源，开启电源开关，待仪器液晶显示屏上显示出厂家和产品信息后，如图3，按“显示”键进入，
1.4.进入测试功能界面如图4、图5；如测试方阻时，请选择液晶显示屏又侧对应 的功能按键“方阻”，则进入方阻测试界面；如测试其他材料时，请选择“材料”则进入材料电阻，电阻率，电导率测试仪界面。
1.5.设置好被测物所需之参数，把被测物放于测试治具平台上操作，测试完毕直接显示测试数据。如配置软件，软件操作说明书同安装软件在一起，请注意查看操作步骤.
以下分别讲解方阻和材料测试的设置
2.四探针双电方阻测试步骤
2.1.上述步骤中1项，使用前期准备
2.2 把被测物测试所需要之参数数据设定：
2.2.1依据不同之测试样品，选择被测试电流，电流设置：按方向键移动光标至“电流”功能，按“设置”键进入；再按“左右”方向键选择电流数据，选择完毕后按“确定”键进行确认。按照以上步骤和方法选择电压、长度单位、探针形状设定、温度.
2.2.2.探针间距数据的输入，探针间距出厂时已经标定，无需再次测量，探针头上有详细的探针数据资料，探针间距的设置：将光标移动至“探针间距”按“设置”键进入，通过面板上面的“数字”按键输入数据按“确定”键进行确认；按照以上方法和步骤设定”厚度“，注意厚度和探针间距修正系数表已经设置在仪器程序中，自动修正，无需再次输入和查询表格。
2.3.测试探头和测试平台操作
选配测试平台的将被测物放在测试平台上，调节探头探针与样品良好接触，探头有二种，一种是探针是弹簧针型，一种是硬针而探头内腔有弹簧；探头有方型和直线型两种结构；调节测试平台上的水平定位角，保证水平仪水准在中心位置；放置好被测物品，后压下探头至被测物，带数据稳定后读取.
方阻测试时，在测试时电流的选择也不同
根据国标GB/T1552-1995和根据ASTM F374-84标准方法测量方块电阻所需要的电流值如下表所示
方块电阻测试时电流量程选择表
| 方块电阻（Ω/□） | 电流量程 |
| 0－－-1.2 | 100mA |
| 1－－-25 | 10 mA |
| 20－－-250 | 1 mA |
| 200－－-2500 | 100μA |
| 2000－－-25000 | 10μA |
| 20000－－-250000 | 1μA |
| >200000 | 0.1μA |
方阻测试时根据用户所选择的电压测量低压6V，中压15V，高压32V；材料测试的时候一直是6V
3.材料电阻测试步骤：
操作步骤及流程
3.1.本机可以依据不同测试产品选择配置不同的测试治具，以下举例操作说明
3.1.1.在开机界面按下按键板上的“显示”键，进入测量界面。如图1
3.1.2 如图2，在液晶显示屏右侧有4个蓝色功能按键，当测材料电阻率时，请选择 “材料”按键 ，进入材料测试主界面.
3.1.3.在该界面下通过按下按键板上的上下左右键，可以移动蓝色光标选择相应的参数。如图2，将移动到某一参数的位置，按下“设置”键，光标将变为深蓝色。此时通过上下左右键和数字键可以对相应的参数进行设置，设置完毕后按“确定”键返回。
3.1.4.如图3接线方式，把主机与夹具连接线，连接好并固定住，
3.1.5.取试样，试样试验前的处理依据标准进行，
3.1.6.把样品放于固定治具夹口内，把HD和LD接口分别与治具接口连接（不分顺序）如图3；另外两个接口与探头接线位置连接，后，放入被测样品，输入高度数据（为探针之间的间距），其他数据为样品本身尺寸。
3.1.7.试样固定住后，加压探头探针至被测样品表面，带数据稳定后读数.
3.1.8. 按下“放大”键对应的按键可以对当前界面的测量数据进行放大
3.1.9. 待参数设置完毕，开始测量，把测试获得的数据写入试验报告中
3.1.10.以下设置和功能属于配置操作软件机型使用，如您购买的无电脑操作软件的话，请勿设置.
3.1.11.接口：可选择“USB”和“232”两种模式。根据用户使用的接口类型进行选择。
测试功能：可选择：“RρK”（显示电阻，电阻率，电导率），“R”（只显示电阻），“ρ”（只显示电阻率，“K”（只显示电导率）3种显示模式。
原创作者：宁波瑞柯微智能科技有限公司
ICP备案号：
浙公网安备：
业务2
业务4